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净化工程有哪些气流形式?
浏览: 发布日期:2017-07-17
净化工程根据其所做出的气流形式分类可以分为:乱流式、复合式、单向流、垂直流等。其中乱流式是目前食品厂、电子厂、饮料厂等产业常用的形式。下面我们就具体来介绍一下:
 
乱流式
 
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。这种净化工程适用于洁净室等级1,000-100,000级。
 
优点:这种净化工程构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
 
层流式
 
层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。这种工程适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:
 
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:这种净化工程构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
 
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:这种净化工程管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
 
复合式
 
复合式净化工程为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
 
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用这种净化工程。洁
 
净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
 
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。这种净化工程在药品、食品业界
 
及半导体业界均适用。